Blickleによる低公害特殊クリーンルーム向けキャスタ 

…は、半導体技術産業の主要企業であり、マイクロチップの製造に使用される装置を開発・製造しています。国際的な企業である同社の2015/2016会計年度の売上高は9億7,200万ユーロでした。全世界で約2,800人の従業員を擁し、そのうち約30％が研究開発に携わっています。

半導体露光用レンズの製造工程で、重い荷重の搬送に対応できる台車が求められていました。レンズの製造は、クリーンルーム環境、つまり微粒子が極めて少ない部屋で行われます。その結果、クリーンルーム環境で使用されるすべての機器や材料は、特殊な表面、帯電防止、低磨耗、低メンテナンス、清掃のしやすさなどの特別な基準を満たす必要があります。

一連のエアロックが、クリーンルームの入り口まで、さらに、空気中の微粒子のレベルが特に低いいわゆる「ウルトラクリーンルーム」と呼ばれる部屋まで、空気中の微粒子を除去するために設置されています。搬送台車用のクリーンルーム向けキャスタは、このクリーンルーム用エアロックのいずれかにのみ取り付け可能です。

生産工程の中で、台車はガイドローラーで案内され、U字型の通路を通らなければなりません。限られたスペースの中で、高い操縦性が求められます。また、レンズメーカーからは、取付高さが低いこと、耐荷重が高いこと、フットガードがあることなどが求められています。

Blickleは、耐荷重、衛生面、操作性などお客様のあらゆる要求を満たすため、LSDFE-POTHシリーズの重荷重緩衝ばね付双輪キャスタを特殊キャスタの基盤として使用しました。

クリーンルーム向けの条件としては、すべての部品は空気中にできるだけ粒子を放出しないように扱わなければなりません。そのため、すべてのねじにステンレススチールを使用しています。取付金具ト全体にニッケルメッキを施し、スムーズな表面を確保しています。防食性の向上だけでなく、汚れの粒子を認識しやすくする効果もあります。取付金具自在旋回部とPOTHホイールのボールベアリングの潤滑には、特殊グリースを使用しています。ホイール自体は熱可塑性ポリウレタン製トレッドで、高品質のナイロン製ホイールセンタ－を使用しています。また、ポリウレタン製ばねには、アウトガスを防ぐ特殊加工が施されています。

キャスタの組み立てと梱包は、特にクリーンな環境の特別な条件下で行われます。

エミッションテストにより、Blickle特殊キャスタはクリーンルーム向けの基準をすべて満たしていることが確認されました。台車は一人で簡単に操作することができ、フットガードで安心感を得ることができます。これにより、非常に高い安全性と人間工学が実現され、結果的にお客様のコスト削減につながります。

• キャスタ1個あたり900kgの高い定格耐荷重
• 狭い通路での最適な操縦性を実現するコンパクトなデザイン
• 最適安全性を高める一体型フットガード
• すべての部品が粒子放射線の要件を満たす